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半導體芯片行業(yè) 半導體芯片行業(yè)

先導微電子-千級、萬級凈化裝修

作者:華業(yè) 時間:2023-02-10

工程概況:核心區(qū)域潔凈度等級要求高,固定區(qū)域內(nèi)風量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風需按需受控,照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控。另外此類潔凈室對靜電要求極其嚴格,對濕度要求尤其高。

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